M2 野村幸寛
Bithmas
ferraite(BFO)は非鉛強誘電・圧電材料として注目され、リー
ク電流が大きく室温での安定動作が困難というデバイス応用上の問題が
あります。そこで、リーク電流抑制法として、元素置換法やプロセスの
改善等が挙げられます。しかし、室温における過剰なリーク電流により
伝導機構や要因については殆ど解明されていません。さら、元素置換が
強誘電性に及ぼす影響についても殆ど解明されていません。そこで、BFO
各種特性の評価・解析が望まれています。
ク電流が大きく室温での安定動作が困難というデバイス応用上の問題が
あります。そこで、リーク電流抑制法として、元素置換法やプロセスの
改善等が挙げられます。しかし、室温における過剰なリーク電流により
伝導機構や要因については殆ど解明されていません。さら、元素置換が
強誘電性に及ぼす影響についても殆ど解明されていません。そこで、BFO
各種特性の評価・解析が望まれています。
評価用試料の作製をPulsed laser
Deposition法によりMIMキャパシタ構
造を作製し、低温にて電気特性評価を行います。
造を作製し、低温にて電気特性評価を行います。
・MIM型キャパシタ構造について
Metal-Insulater-Metalの形をしたキャパシタの事。
・酸化物電極について
下部に酸化物電極を利用することにより様々な利点があります。例えば、代表的な強
誘電体の一つであるチタン酸ジルコン酸鉛（PZT）のMIM型キャパシタ構造において、
下部電極を金属ではなく、酸化物にすることにより様々な恩恵が得られました。その恩
恵の例として、鉛の拡散抑制、疲労特性向上、界面欠陥の抑制、単一配向膜の作製など
が挙げられます。
誘電体の一つであるチタン酸ジルコン酸鉛（PZT）のMIM型キャパシタ構造において、
下部電極を金属ではなく、酸化物にすることにより様々な恩恵が得られました。その恩
恵の例として、鉛の拡散抑制、疲労特性向上、界面欠陥の抑制、単一配向膜の作製など
が挙げられます。
国際会議Y. Nomura, T. Kawae, Y.
Terauchi, S. Yamada, and A. Morimoto
Characterization of
ferroelectric properties in (Pr, Mn)-codoped BiFeO3 thin films at low
temperature
Accepted to The 10th
Russia/CIS/Baltic/Japan Symposium on Ferroelectricity
(RCBJSF-10)
Yokohama, Japan,
2010、6
国内会議野村幸寛、寺内祐紀、川江 健、山田
悟、森本章治
Pr,Mnニ元素置換BiFeO3薄膜の低温物性評価
第57回
応用物理学関係連合講演会（東海大学）
野村幸寛、寺内裕紀、川江 健、山田
悟、森本章治
SrRuO3電極上におけるBiPr0.1Fe0.97Mn0.03O3薄膜の低温物性評価
平成21年度
応用物理学会北陸・信越支部学術講演会（富山県立大学）